ComObjectを解放する方法を説明します。

VB.NETからExcelを起動すると、Excelが落ちない現象があるときは、メモリーの解放を

Marshal.ReleaseComObject() ではなく

Marshal.FinalReleaseComObject() で行ないます。

COMオブジェクトを解放する

Marshal.FinalReleaseComObject(objCom)

'以下と同じになる

Dim I As Integer
Do
    I = Marshal.ReleaseComObject(objCom)
Loop Until I <= 0

※Marshal.ReleaseComObject()は参照数が0になるまで、ループで解放を繰り返さなければならないみたいです。